走査型電子顕微鏡(SEM)解析サービス(SEM観察/SEM-EDS(EDX)元素分析): 故障解析・品質保証・設計比較・材料開発を支援
半導体・電子部品の表面観察・断面観察を中心に、構造や不良要因を高精細に“見える化”し、故障解析・品質保証・設計比較・材料開発を支援します。光学顕微鏡では捉えにくい微細なクラック、剥離、異物付着、界面変化なども、SEM観察とEDS元素分析により原因推定までつなげます。
観察したい部位を狙って評価するため、SEM観察前の前処理・加工にも対応します。
観察したい部位を狙って評価するため、SEM観察前の前処理・加工にも対応します。
不具合が生じたICに対し、電気的特性検査(I-V特性検査)とロックイン赤外線発熱解析(LIT)を実施したところ、短絡故障と想定される結果が確認されました。
故障が疑われる部位に対し界層解析検査(エッチバック検査)を実施した結果、Si基板に溶融痕が観察されました。

先端LSIに対して、SEMよるパッケージ内部の表面観察を実施致しました。以下の画像から微細なワイヤの組立構造が確認できます。微細なクラックや異物、腐食、界面剥離といった課題も容易に確認できます。

先端LSIに対して、界層解析検査(エッチバック検査)法によるIC内部配線の表面観察を実施致しました。以下の画像から微細な配線の形状やレイアウトパターンが確認できます。微細な配線の形状異常や断線、異物といった課題も容易に確認できます。

先端LSIに対して、SEMよる積層構造の断面観察を実施致しました。以下の画像から微細な積層構造が確認できます。微細な配線の形状異常やプラグのボイド、接続不良といった課題も容易に確認できます。

先端WLCSPに対して、SEMによるアウターバンプの断面観察を実施致しました。アウターバンプと再配線層(RDL)の接続状態や結晶コントラストが鮮明に確認できます。

ダストや粉じん、毛髪に対してSEMによる表面観察を実施致しました。微細な粒子の表面形状や大きさ、毛髪のダメージなどが鮮明に確認できます。SEMでの観察対象は電子部品に留まらず多岐に渡ります。

非破壊検査で異常の発生箇所や範囲を事前に絞り込み、SEMによる詳細観察とEDS分析を実施しました。
段階的な解析アプローチにより、不具合個所の特定と発生要因がピンポイントで検出できます。

EDS分析によるリチウムイオン電池のセパレータ組成分析を実施しました。セパレータの組成成分が鮮明に判別可能です。

1:お問い合わせ
お問い合わせフォームから、ご依頼内容、サンプル情報、実施希望時期等についてお知らせください。
2:お問い合わせへのご回答とヒアリング・お見積り
OKIエンジニアリングの担当者より、お問い合わせ、ご依頼の詳細をヒアリングさせていただきます。ヒアリング中に解析内容のご確認、解析の可否、その他ご要望等を確認し、お見積りと納期を確認の上、ご連絡いたします。
3:ご依頼の発注と解析サンプルの送付
お客様より、ご依頼の注文書を送付いただきます。注文書受領後に、解析作業を開始します。解析サンプルの送付先は、OKIエンジニアリングの担当者よりご連絡します。
4:解析作業開始
ご依頼の解析を実施します。解析途中での中間報告のご対応も可能です。解析結果により、追加の解析や内容の変更をご提案する場合があります。
5:解析結果のご報告
解析結果を報告書にまとめ、お客様へ送付します。結果についてのご不明点や、ご質問などがあった際は、お気軽にご質問ください。
6:お支払い処理と解析サンプルのご返却
お客様にて報告内容のご確認後に、OKIエンジニアリングより解析サンプルと請求書・受領書・納品書を送付します。お支払い処理のご対応をお願いいたします。