解析（故障／良品）・観察・分析

FE-EPMA WDX元素マッピング成分分析で異物や腐食の同定を行います

OKIエンジニアリングでは、電界放出型電子線マイクロアナライザー（FE-EPMA ※1）により定性分析、マッピング分析、定量分析を実施しております。FE-EPMAは、対象試料に電子線を照射して、励起した特性X線により、試料にどのような元素が含まれているか等を分析する装置であり、当社が提供している、主に故障解析や構造解析で使用する装置です。また、WDX（※2）とは、波長分散型X線分光器を用いた分析手法です。
FE-EPMAは、従来のタングステンフィラメントと比較して、検出感度や分解能が数段向上し、微小領域の分析に適しています。また、マルチハイトマップ（※3）機能の搭載により、凹凸試料に対しても詳細な元素分布を確認することが可能となりました。他の分析方法では波長ピークの重なりから、判別に困難な元素がありますが、FE-EPMAでは元素波長の分離能力が高いため、元素の判別に対しても有効な手法です。

※1：FE-EPMA
Field Emission Electron Probe Micro Analyzer
※2：WDX
wavelength-dispersive X-ray spectrometry
※3：マルチハイトマップ
各々の高さを光学顕微鏡の焦点位置に合わせて分析を行うこと

故障解析: 例：異物の分析・・・基板や部品などの不具合原因を異物分析により原因を究明
基板の分析: 例：はんだ接合部の分析・・・合金層やPリッチ層の分布の確認
他社製品の構造解析: 例： SiCパワーモジュール、IGBT搭載基板の分析・・・各材料の成分確認および定量
イオンマイグレーション、シロキサン暴露試験後の分析: 例：イオンマイグレーション試験後に、材料金属の発生有無を確認

電界放出型電子線マイクロアナライザーの原理・特長

原理

電界放出型電子線マイクロアナライザーの原理

加速した電子線を物質（試料）に照射すると、いくつかの電子やX線が現れます。電界放出型電子線マイクロアナライザーは、このうち特性X線を検出し、電子線が照射されている物質の微小領域における構成元素の同定と比率（濃度）を分析します。
特定ポイントに存在する元素を特定する定性・定量分析や、表面における元素の二次元的な分布をマッピングする面分析が可能です。