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解析(故障/良品)・観察・分析

観察・分析

部品・材料等の正確な解析・分析の為には微細構造を観察したり、元素を分析したりする事が必要です。また、信頼性試験に加えて[観察・元素分析]によって、物性を正確に理解・把握し、研究および開発を促進する有効な方法としても活用されています。実施例として、LSI・電子部品・材料等を走査型電子顕微鏡(SEM)EDX(エネルギー分散型X線分光法)透過型電子顕微鏡(TEM)によって、微細構造を観察/集束イオンビーム装置(FIB)による断面観察、電子線マイクロアナライザ(EPMA:Electron Probe Micro Analyzer)やフェーリエ変換型赤外線分光法を用いた有機物分析等、幅広い観察や分析を実施しています。

  • 透過型電子顕微鏡(TEM)
    透過型電子顕微鏡(TEM)
  • 格子像
    格子像
  • 走査型電子顕微鏡(SEM)
    走査型電子顕微鏡(SEM)
  • ダメージ痕
    ダメージ痕
  • SEM-EDX機器
    走査型電子顕微鏡(SEM-EDX分析)
  • SEM-EDX分析画像
    SEM-EDX 元素マッピング例
  • 集束イオンビーム装置(FIB)
    集束イオンビーム装置(FIB)
  • 集束イオンビーム装置(FIB)より取得した>ICの回路断面
    ICの回路断面
  • TEM観察用薄膜試料作製装置
    TEM観察用薄膜試料作製装置
  • 集束イオンビーム装置(FIB)より取得した画像
    微小領域を高い精度で薄膜加工
  • 電子線マイクロアナライザ(EPMA)
    電子線マイクロアナライザ(EPMA)
  • EPMA-WDX 元素マッピング例
    EPMA-WDX 元素マッピング例
  • マイクロフォーカスX線CT装置
    マイクロフォーカスX線CT装置
  • BGAの3D像
    BGAの3D像
  • マイクロフォーカス透過X線装置
    マイクロフォーカス透過X線装置
  • 温度加熱ユニットによるハンダ溶融状態
    温度加熱ユニットによるハンダ溶融状態
  • 光学顕微鏡(OM)
    光学顕微鏡(OM)
  • 内蔵ハンダ吹き出し例
    内蔵ハンダ吹き出し例
  • 実体顕微鏡
    実体顕微鏡
  • デジタルマイクロスコープ
    デジタルマイクロスコープ
  • 気密封止パッケージ内水分・残留ガス分析装置
    気密封止パッケージ内水分・残留ガス分析装置
  • 測定チャート
    測定チャート
  • TEM用薄膜試料作製に使用するイオンスライサ装置
    TEM用薄膜試料作製に使用するイオンスライサ装置
  • LSIのTEM用薄膜試料作製イオンスライサ加工例
    LSIのTEM用薄膜試料作製イオンスライサ加工例
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