低湿度CDM試験: OKIエンジニアリングでは、低湿度環境における放電波形の安定性、再現性を実現して、安定性・再現性に優れたCDM試験をご提供いたします。
CDM(Charged Device Model)試験は、昨今の半導体デバイスの小型化と組立工場の自動化に伴い、組立時の帯電による破壊を検査する試験としてその重要性が増しています。このような背景のもと、ANSI/ESDA/JEDEC JS-002(相対湿度30%未満の低湿度環境が要求事項)の規格を中心にCDM試験のニーズは年々増加しており、車載規格のAEC-Q100や101のCDM試験にもANSI/ESDA/JEDEC JS-002が採用されています。
OKIエンジニアリングでは低湿度環境における放電波形の安定性、再現性を実現して、安定性・再現性に優れたCDM試験をご提供いたします。
また、今後パッケージの小型化と高密度化でますます加速する微細ピッチデバイスへの対応としてCCDカメラによる目視観測にて0.25mmピッチのデバイスまで対応いたします。