薬液不純物分析

規定された不純物量はごく微量で、容易にコンタミネーションの影響をうけてしまいます。
清浄な半導体グレード薬液から、工場廃液まで幅広い試料に対応可能です。

（分析例）フッ酸溶液中の不純物解析

マルチICP-OESでは真空紫外領域（130nm～）の測定が可能なことから、高フッ酸マトリックス中の金属成分分析が可能です。

ICP-OES分析装置

• 化学分析（RoHS・REACH・環境）
• 有害物質分析（材料分析・組成分析）
• アウトガス分析・解析
• 異物解析
• 基板清浄度評価
• 半導体製造ライン向け化学分析（微量分析）
  • クリーンルーム空気環境測定
  • 薬液不純物分析
• 樹脂・材料解析
• 環境分析
• その他の分析
• 主要設備
• よくあるご質問（FAQ）

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