溶液試料中の金属元素をアルゴンプラズマで励起させ、四重極質量分析計で高感度（ppb～pptオーダー）に分析します。

溶液試料中の有機化合物成分等を分離カラムで成分ごとに分離し、質量分析計に導入し、定性・定量分析を行います。

溶液試料中の金属元素をアルゴンプラズマで励起させ、発光させることにより、金属ごとに特有な波長の光の強度を測定し、高感度（ppm～ppbオーダー）に分析します。

JIS（K0115）規定の9項目（波長正確さ、波長再現性、測光正確さ、測光値再現性、分解、迷光、ベースライン安定性、ベースライン平坦性、ノイズレベル）について自動／半自動での検査が可能です。

蛍光X線分析装置は、試料にX線を照射し発生する蛍光X線のエネルギーを分析することで試料を構成する元素の種類や含有量を調べます。高感度にCからのマッピングを行えることが大きな特徴となっており、焦点ギャップが最大10mm可能であるため、実装された基板など幅広い試料に対応が可能です。

1面の捜索範囲

190×150mm

分析領域

20μm、170μm、1.0mm

最大試料サイズ

330×170×120㎜

ガスクロマトグラフ質量分析装置（GC-MS装置）はGCでカラムを通過し、成分を分離定量でき、MS内部で質量スペクトルを測定する事によりその分離されたピークの定性を行うことができます。質量数を選択して検出が行えることから高感度測定が可能です。揮発性化合物の分析に非常に有効な装置です。

SCD（Sulfer chemiluminescence Detector：化学発光硫黄検出器）は、化学発光反応を利用した検出器で、硫黄分析において高い選択性を有し、FPD検出器より10倍以上高感度な分析が可能です。

樹脂材料、金属材料を試料として、特定の温度で加熱してアウトガスになる物質を発生させ、コールドトラップで濃縮して装置に導入することで分析を行う。ガスクロマトグラフ装置のカラムを通過する時間が異なることを利用し、対象物質の分離導入により質量情報（マススペクトル）が得られ、物質の特定を行うことができる装置です。

イオンクロマトグラフ分析装置は、水溶液中のイオン成分を分離してイオン成分の濃度変化を電気伝導度の変化として電気伝導検出器で分析・定量する装置です。オートサプレッサとの組合せにより、ppbレベルの超高感度なイオン分析が可能です。

IA-MSイオン付着質量分析は、試料を加熱気化し、リチウムイオンを付着、フラグメンテーションを起こさないようにイオン化させ質量分析計に導入します。その結果、目的成分の持つ分子量を保持したまま質量分析でき、目的成分の分子量だけを取り出して、定量分析が可能です。

赤外分光分析装置[FT-IR ※1]は、赤外線を試料に集光し、測定部位をアパーチャーで絞り、高感度半導体検出器で吸収光（透過または反射光）を検知します。微小領域について、主に有機構造に関する情報が赤外吸収スペクトルとして簡便に得られます。

供試体と標準試料が定速昇温するとともに膨張したときの膨張量の差をTMA回路により検出する装置です。広範囲な温度湿度環境下での測定を可能とし、燃料電池材料などの新素材開発における物性分析に対応しています。

試料の温度を一定プログラムによって変化または保持させながら、試料の質量を温度または時間の関数として測定する高感度上皿式熱重量測定装置です。物質のキャラクタリゼーション、製品・材料の設計や性能予測、加工条件の最適化や品質管理・品質保証に関係する重要な情報が得られます。