デバイス/モジュールの信頼性評価、電気的特性測定・評価

半導体デバイス・アナライザ

B1500A 半導体デバイス・アナライザ(キーサイト製)

半導体パラメータアナライザ[B1500A]により、OKIエンジニアリングでは、TZDB、TDDB、ホットキャリアによるTrの特性劣化などの試験に加え、NBTI、PGUを用いたチャージポンピング法、CMUを用いた容量測定などが可能です。

構成

B1500A 半導体デバイス・アナライザ

  • ハイパワー(HP)SMU
  • 高分解能(HR)SMU
  • パルス発生ユニット PGU
  • 容量測定ユニット  CMU 1台

NBTI、PGUを用いたチャージポンピング法、CMUを用いた容量測定

  • NBTIは、ストレスOFFから特性測定までに劣化が復帰してしまうリカバリー現象を低減することができるオンザフライNBTIが可能。
  • チャージポンピング法は、本体内蔵のPGUを使用することにより、外部のパルスジェネレータをGPIGでコントロールする場合に比べレスポンスが良く、測定時間が短縮可能。
  • 容量測定は、LCRメータを必要とせず、本体のみで、ゲート絶縁膜などの容量測定が可能。
  • 試験時間が長時間必要なTDDBに関してもパラレル評価が可能。
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