半導体デバイス・アナライザ

B1500A 半導体デバイス・アナライザ（キーサイト製）

半導体パラメータアナライザ[B1500A]により、OKIエンジニアリングでは、TZDB、TDDB、ホットキャリアによるTrの特性劣化などの試験に加え、NBTI、PGUを用いたチャージポンピング法、CMUを用いた容量測定などが可能です。

構成

NBTI、PGUを用いたチャージポンピング法、CMUを用いた容量測定

• NBTIは、ストレスOFFから特性測定までに劣化が復帰してしまうリカバリー現象を低減することができるオンザフライNBTIが可能。
• チャージポンピング法は、本体内蔵のPGUを使用することにより、外部のパルスジェネレータをGPIGでコントロールする場合に比べレスポンスが良く、測定時間が短縮可能。
• 容量測定は、LCRメータを必要とせず、本体のみで、ゲート絶縁膜などの容量測定が可能。
• 試験時間が長時間必要なTDDBに関してもパラレル評価が可能。

• デバイス／モジュールの信頼性評価、電気的特性測定・評価
• 信頼性評価
• 電気的特性測定・評価
• スクリーニング試験
• LSIテスト
• 主要設備
  • 半導体デバイス・アナライザ
  • リニアICテスタ
• よくあるご質問（FAQ）

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