半導体デバイス・アナライザ
B1500A 半導体デバイス・アナライザ(キーサイト製)
半導体パラメータアナライザ[B1500A]により、OKIエンジニアリングでは、TZDB、TDDB、ホットキャリアによるTrの特性劣化などの試験に加え、NBTI、PGUを用いたチャージポンピング法、CMUを用いた容量測定などが可能です。
構成

- ハイパワー(HP)SMU
- 高分解能(HR)SMU
- パルス発生ユニット PGU
- 容量測定ユニット CMU 1台
NBTI、PGUを用いたチャージポンピング法、CMUを用いた容量測定
- NBTIは、ストレスOFFから特性測定までに劣化が復帰してしまうリカバリー現象を低減することができるオンザフライNBTIが可能。
- チャージポンピング法は、本体内蔵のPGUを使用することにより、外部のパルスジェネレータをGPIGでコントロールする場合に比べレスポンスが良く、測定時間が短縮可能。
- 容量測定は、LCRメータを必要とせず、本体のみで、ゲート絶縁膜などの容量測定が可能。
- 試験時間が長時間必要なTDDBに関してもパラレル評価が可能。
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