環境システム技術

CVD排気配管の閉塞解消処理配管を取り外さずに、配管内に堆積した閉塞物を研磨材と高圧エアで除去します。

CVD排気配管の閉塞解消処理

CVD装置の真空ポンプ出口側配管はシランガス等の粉により閉塞が発生し、静圧や風量不足に陥ることがあります。その対策として、定期的に配管を取り外し、手作業にて配管洗浄を実施するのが一般的です。OKIエンジニアリングでは長年の保守経験から発案した、配管を取り外さずに配管内の閉塞物を除去する方法をご提案いたします。

  • 閉塞している配管内に研磨材(砂)を高圧エアと一緒に流し配管内を研磨します。
  • 研磨材(砂)と閉塞物の粉は専用の集塵機で回収するので環境を汚しません。
  • 排気配管の長さは問いません。
  • 1日当たり25本(100m/本)施工可能です。
  • 配管内がオイルで汚れていても専用治具で研磨します。
  • クリーンルーム内配管でも対応いたします。
  • 真空ポンプ二次側の排気配管に限ります。

CVD排気配管の閉塞解消処理導入事例

納入実績
  • 東北地区 半導体工場様
  • 真空ポンプ出口~除害装置間のSUS配管、配管長60~150m
  • 年1回の周期で約70本を3日間で研磨処理

CVD排気配管 研磨処理前後

研磨材投入機、集塵器

CVD排気配管の閉塞解消処理に関するお問い合わせ先
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電話:03-5920-2356 FAX:03-5920-2306

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