特性測定・評価
LSIテスタによる特性測定、特性評価（AC特性実力値測定やマージン測定等）を室温以外に高低温で実施します。
1000pinクラスのMCM用測定ボード設計・製作
- 本事例は、開発品の1000pinクラスのMCM（CPU&メモリ）用に、測定ボードを設計・製作し、実装形態別に測定を実施した事例です。
ベアチップのプロービング
- 実績：7～100Pin
- 1㎜～5㎜口以下
- 常温
12インチTEGウェハ測定
- TEGによる基本的データの収集例1
- I-V特性（－12～-13乗アンペアまで測定可能）
- TEGによる基本的データの収集例2
- C-V特性
【お問い合わせ先】
- デバイス評価事業部
- 電話：03-5920-2366 ファックス：03-5920-2306
