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特性測定・評価

LSIテスタによる特性測定、特性評価（AC特性実力値測定やマージン測定等）を室温以外に高低温で実施します。

1000pinクラスのMCM用測定ボード設計・製作

　　　　　

ベアチップのプロービング

　　　　　　

12インチTEGウェハ測定

• TEGによる基本的データの収集例1
  • I-V特性（－12～-13乗アンペアまで測定可能）

• TEGによる基本的データの収集例2
  • C-V特性

【お問い合わせ先】

• デバイス評価事業部
  • 電話：03-5920-2366　ファックス：03-5920-2306
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