環境システム技術
半導体製造排ガス処理装置、廃水処理・回収再利用装置など製造プロセス固有の各種ガス、液体の最適処理装置、プラント・システムの構築から運営・管理業務、さらに水質・土壌・大気調査をはじめとした各種分析・測定およびコンサルテーションを提供します。
当社は、オフィス、ファクトリ、ゾーンに関する環境測定を行うとともに、結果に基づくソリューションを提供します。また、安全・衛生管理の改善に関する技術支援も実施しています。
半導体製造排ガス処理装置
半導体製造等に使用される、特殊材料ガスを対象とした排ガス処理装置です。環境対策と安全性の向上とメンテナンス軽減に有効です。
装置一覧
| 設備種類 | 方式名称 | |
|---|---|---|
| APCVD | TEOS | 分離・吸収方式 |
| APCVD | Silane | 横型湿式方式 |
| Epitaxial | TCS・DCS | 高圧水洗方式 |
| Doping | PH3・AsH3 | 大風量吸着方式 |
廃水処理・回収再利用装置
CF・UF・NF・RO・IE等との組み合わせのクローズド方式による廃水回収・再利用処理装置です。環境対策と省資源を目的とします。
システム一覧
| 種類 | 名称 |
|---|---|
| 重金属系 | 凝集沈殿・金属回収システム |
| F系 | 低汚泥システム |
| 研磨系 | CF・RO併用システム |
| CMP | 膜処理応用システム |
界面活性剤リサイクル装置
油分・SSを含んだシリコンウエハ洗浄用界面活性剤の濾過再利用装置です。
高性能セラミックフィルターと遠心分離器併用により、自動洗浄装置対応・全自動化を特長とし、このリサイクルは優れた経済効果をもたらすばかりでなく、現在の製造業に期待される省資源・環境保全にも大きく貢献します。
界面活性剤濾過装置
水洗浄装置
プリント基板・BGA/CSP用水系洗浄を対象とした洗浄・すすぎ・乾燥完全自動処理インライン小型洗浄装置です。
装置に内蔵したROによる低廃水システムを採用しています。
環境施設保全
工場廃水・排ガス処理施設の定期点検や、耐久予測に基づいた部品交換・修理改修を行い、施設の寿命延長だけではなく、稼働時の事故による設備停止・未処理水流出、未処理ガス大気拡散等を未然に防止します。
廃水処理装置
【お問い合わせ先】
- 環境事業部
- 電話：03-5920-2356 ファックス：03-5920-2306
