排水リサイクルシステム、設置、保守凝集沈殿法（※1）により排水中のフッ素やSiO2分を凝集除去、上澄み液をリサイクル水として再給水し産廃処分費の削減に貢献いたします。

半導体製造・液晶ディスプレイ製造・太陽電池（PV）製造の生産過程ではシリコン・CMP（chemical Mechanical Polishing）洗浄のため大量の純水を必要とします。また、湿式排ガス処理装置により大量のフッ素系排水が発生しますがこの排水は浄化処理することで、水資源保全の観点から最大限の水の再利用が可能です。
OKIエンジニアリングでは半導体製造・液晶ディスプレイ製造・太陽電池（PV）製造等の工場に工程排水リサイクルシステムを設置、製造工程排水を純水に再生し、循環利用することで産廃処分費の削減、グリーンファクトリー（環境配慮型工場）対策を計ります。排水処理システム全般に関するプランニングおよび現地調査、分析、評価テスト、設置、保守をご提供します。

• ※1凝集沈殿法とは凝集剤により排水中のフッ素や金属イオンを凝集させイオンの力と、高分子の鎖で、浮遊物を凝集し集合体（フロック）を作って沈降させることで、比重差により沈殿分離させる排水処理方法の一つです。

排水リサイクルシステムの特徴

排水リサイクルシステム導入の流れ

現地調査

ご依頼を受けた工場などに現地調査にお伺いし、既存排水設備の状況、現在の運転状況やメンテナンスを直接観察し、現場の関係者にヒアリング等を行い、排水のサンプリングを採取します。

分析・評価テスト

現地調査のヒアリングから、排水システムの制御・運営方法などについて適切性確認・改善提案など分析を行います。評価テストにおいては、設置ならびに計測に係る諸データをテーブルテスト分析をし、システム構成および工法の類型化を図り、システム設置コストの低減等を推進するとともに、取得した運転データ等を集約、分析・評価して、排水リサイクルシステム導入に有用な資料として取りまとめ報告します。

システム導入・設計

分析・評価テストからのデータを活用し、水質汚濁防止法に基づいた排水の分析データに適正に運用されるように、また中和槽、凝集槽、沈殿槽の流用バランスの確保、廃水処理改修方法などを盛り込み、各工場に適合する排水リサイクルシステムを設計・導入します。

導入事例

半導体製造工場のクリーニング用CLF3ガスを直接除外する湿式排ガス処理装置の排水量を減らし、産廃処分費の削減に貢献しました。

排水リサイクルシステム導入前の状況

現地調査例

• 水槽内部はSiO2の塊が水面に浮遊し、循環水が白濁していた。
• 排ガス導入部にはSiO2が付着を確認。
• 休止している排水処理設備がある。
• 高負荷運転でメンテナンス周期が週1回である。

分析・評価テスト例

サンプリングしてきた排水液を凝集処理テストし、原水濃度変化に対して凝集性に影響がないか確認しました。また、原水濃度変化に対してHF処理性能に影響がないことをテーブルテストしました。

排水リサイクルシステム導入後の状況

排水リサイクルシステム導入効果

• 給水量　91％削減（80m3/月→6.9m3/月）
• 排水量　77％削減（91m3/月→21m3/月）
• 既設排水処理設備を改修し、再利用可能
• ランニングコストを年間約2000万円削減
• 排水リサイクルシステム導入によりメンテナンス頻度を1/4に改善　（週1回→月1回）

排水リサイクルシステム導入後の運転状況で水槽内のSiO2の塊が減少し、白濁も僅かながら改善していることを確認しました。

排水リサイクルシステム導入効果のランニングコスト比較表

• 環境システム技術
  • 高精度地震動予測装置
  • 排ガス処理システム、設置、保守
  • 排水リサイクルシステム、設置、保守
  • CVD排気配管の閉塞解消処理

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