半導体デバイス・アナライザ
B1500A 半導体デバイス・アナライザ（Agilent Technologies製）
テスタの新規導入より、TEG評価の幅が広がりました。 新しく導入した半導体パラメータアナライザー、B1500A（アジレント・テクノロジー製）により、これまで実績を積み上げてきたTZDB、TDDB、ホットキャリアによるTrの特性劣化などの試験に加え、NBTI、PGUを用いたチャージポンピング法、CMUを用いた容量測定などが可能となりました。
構成
- ハイパワー（HP）SMU
- 高分解能（HR）SMU
- パルス発生ユニット PGU
- 容量測定ユニット CMU 1台
広がった可能性
- NBTIは、ストレスOFFから特性測定までに劣化が復帰してしまうリカバリー現象を低減することができるオンザフライNBTIが可能。
- チャージポンピング法は、本体内蔵のPGUを使用することにより、外部のパルスジェネレータをGPIGでコントロールする場合に比べレスポンスが良く、測定時間が短縮可能。
- 容量測定は、LCRメータを必要とせず、本体のみで、ゲート絶縁膜などの容量測定が可能。
- 試験時間が長時間必要なTDDBに関してもパラレル評価が可能。
【お問い合わせ先】
- デバイス評価事業部
- 電話：03-5920-2366 ファックス：03-5920-2306
