部品・材料等の正確な解析・分析の為には微細構造を観察したり、元素を分析したりする事が必要です。また、信頼性試験に加えて[観察・元素分析]によって、物性を正確に理解・把握し、研究および開発を促進する有効な方法としても活用されています。実施例として、LSI・電子部品・材料等を走査型電子顕微鏡(SEM)やEDX(エネルギー分散型X線分光法)、透過型電子顕微鏡(TEM)によって、微細構造を観察/集束イオンビーム装置(FIB)による断面観察、電子線マイクロアナライザ(EPMA:Electron Probe Micro Analyzer)やフェーリエ変換型赤外線分光法を用いた有機物分析等、幅広い観察や分析を実施しています。