技術論文
レポートリスト
MEMSデバイスの信頼性に対する良品構造解析的アプローチ
構造解析グループ村原大介
- シンポジウム名
- 第14回MEMS講習会 MEMSの新技術（設計・加工・評価）と応用製品
- 開催地
- 兵庫県民会館（兵庫県神戸市 ）10階福の間
- 発表テーマ
- MEMSデバイスの信頼性に対する良品構造解析的アプローチ (PDFファイル 781KB)
- 論文内容
- MEMS デバイスは構造が多種多様である為、それぞれのデバイス構造に応じた評価手法が必要と 考えられる。本報告では、圧力センサやジャイロセンサ等、数品種のデバイスについて解析を行った中で、代表としてゲーム機等で市場に広く浸透している汎用の3軸加速度センサの事例について説明する。
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