観察・分析
部品・材料等の正確な解析・分析の為には微細構造を観察したり、元素を分析したりする事が必要です。また、信頼性試験に加えて［観察・元素分析］によって、物性を正確に理解・把握し、研究および開発を促進する有効な方法としても活用されています。実施例として、LSI・電子部品・材料等を走査型電子顕微鏡（SEM）やEDX（エネルギー分散型X線分光法）、透過型電子顕微鏡（TEM）によって、微細構造を観察/収束イオンビームによる断面観察、電子線マイクロアナライザ（EPMA）やフェーリエ変換型赤外線分光法を用いた有機物分析等、幅広い観察や分析を実施しています。
マイクロX線CT装置（XCT）
BGAの3D像
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